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赛默飞 Apreo 2S 场发射扫描电镜
EQUIPMENT · APREO 2S

扫描电镜 SEM/EBSD

赛默飞 Apreo 2S 场发射扫描电镜
EBSD 探头:牛津 Symmetry 3(S3) · EDS 探头:牛津 Xplore 30
  • 二次电子分辨率 0.5 nm @15 kV(减速模式),低电压 0.9 nm @1 kV
  • 复合物镜完全无漏磁,磁性样品直接高分辨成像
  • 五轴电动样品台 110×110 mm,最大承重 5 kg,一次可装 18 个标准钉台
咨询测试服务
0.5 nm
二次电子分辨率 @15 kV(减速模式)
30 kV
着陆电压上限(20 V–30 kV)
200 万倍
放大倍数范围 20–2,000,000×
INTRODUCTION

设备简介

赛默飞 Apreo 2S 采用高稳定度肖特基热场发射电子枪与复合物镜(静电透镜 + 无场磁透镜 + 浸没磁透镜)设计, 兼顾极高分辨率与大工作距离成像能力:15 kV 减速模式下二次电子分辨率达 0.5 nm, 工作距离 10 mm 处仍可保持 1.0 nm @1 kV 的高分辨表现,操作直观、成像稳定。

本机搭载牛津仪器 Symmetry 3(S3)EBSD 探头与 Xplore 30 能谱仪,EBSD 采集速度快、标定率高, 可在同一台设备上完成形貌观察(SEM)、晶体取向与织构分析(EBSD)、元素成分分析(EDS)—— 形貌、结构、成分一次到位,尤其适合大批量 EBSD 快速成像与磁性材料分析。

ADVANTAGES

核心优势

极高分辨成像

0.5 nm@15 kV(减速模式),低电压 0.9 nm@1 kV,最高 200 万倍放大

磁性样品友好

复合物镜完全无漏磁设计,磁性材料无需退磁即可直接观察

大样品高效率

五轴电动台 110×110 mm、承重 5 kg,一次装载 18 个标准钉台批量测试

高速 EBSD

Symmetry 3 探头标定率高、采集快,大面积成像与批量取向分析稳定可靠

SPECIFICATIONS

技术参数

设备型号赛默飞 Thermo Fisher Apreo 2S 场发射扫描电镜(美国)
电子枪高稳定度肖特基热场发射电子枪,自动烘烤 / 自动启动
二次电子分辨率0.5 nm @15 kV(减速模式);0.9 nm @1 kV;0.7 nm @30 kV(STEM)
着陆电压20 V – 30 kV 连续可调(样品台偏压 −4,000 V ~ +600 V)
放大倍数20 – 2,000,000×
束流范围1 pA – 50 nA 连续可调
物镜系统复合物镜(静电 + 无场磁透镜 + 浸没磁透镜),完全无漏磁
样品台五轴电动马达台 · X/Y 110×110 mm · 倾转 −15°~+90° · 最大承重 5 kg(不倾转)
样品仓内宽 340 mm,12 个端口,可选低真空模式(10–500 Pa)
标准样品座一次可容纳 18 个标准钉台(φ12 mm),含 3 个预倾桩
EBSD 探头牛津仪器 Symmetry 3(S3)
EDS 探头牛津仪器 Xplore 30 能谱仪
特色功能SmartAlign 自动对中、自动加热光阑、PivotBeam 选区电子通道衬度模式
APPLICATIONS

应用领域

表面形貌观察 EBSD 取向分析 高速 EBSD 成像 EDS 成分分析 TKD 透射菊池 ECCI 位错成像 磁性材料 金属材料 半导体 能源电池
RESULTS

成像效果

高分辨 SEM 图像
(图片占位)
高分辨二次电子成像效果
EBSD 取向成像图
(图片占位)
EBSD 晶粒取向与织构成像

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